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硅芯片净化无尘室的维护应该如何维护

返回列表 来源:翔泰净化 浏览:- 发布日期:2016-08-24 14:52:28【

净化室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。翔泰认为净化室的维护主要应该注意以下三点:

1. 建立净化室安全措施综合系统,设置火灾报警、排烟、消防、事故照明等设施,对制剂中使用化学药品、气体的净化室,还应根据腐蚀、爆炸、可燃、自燃、有毒等物品性质采取相应的安全措施。 

2. 净化室的维护管理应包括对净化室的空气净化设备、配制制剂中使用的物料、设备和净化室的操作人员等管理。应建立相应的管理制度,明确管理内容方法和责任,执行应有记录。 

净化室的维护应该如何维护

3.除了依靠使用人员日常管理外,应建立净化室计划检修制度,对净化室空调系统和空气净化设备实行定期检修、保养。 

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